6英寸本征区熔高阻单晶硅片_广东6英寸半导体ic单晶硅抛光片价格
2018-10-03 来自: 东莞市森烁科技有限公司 浏览次数:632
森烁科技***6英寸半导体ic单晶硅抛光片
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6英寸(150mm)电子级半导体硅片(Prime/Test grade)参数类型:SI技术指标产品尺寸:6英寸用途介绍:单晶硅棒切割成的圆形薄片,是半导体行业的原材料,通过对硅片进行光刻,离子注入等手段,可以制成各种半导体器材。生长方式:直拉单晶(CZ)表面抛光:单面抛光/双面抛光直径公差:150 ±0.3(mm)粗燥度Ra:0.5nm弯曲度BOW:10um翘曲度TTV:10um平整度TIR:3um电 阻 率:1-100欧姆颗粒度pewaferr:(for size o.3um)掺杂类型:N型(掺磷、砷、锑) P型(掺硼)晶体取向:100/111厚 度:450-620±25包 装:25片/盒(真空包装)
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