6寸高纯度晶片IC级双面抛光硅片_东莞有品质的6英寸半导体单晶硅抛光片

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6英寸(150mm)电子级半导体硅片(Prime/Test grade)参数类型：SI技术指标产品尺寸：6英寸用途介绍：单晶硅棒切割成的圆形薄片，是半导体行业的原材料，通过对硅片进行光刻，离子注入等手段，可以制成各种半导体器材。生长方式：直拉单晶（CZ）表面抛光：单面抛光/双面抛光直径公差：150 ±0.3（mm）粗燥度Ra：0.5nm弯曲度BOW：10um翘曲度TTV：10um平整度TIR：3um电 阻 率:1-100欧姆颗粒度pewaferr：(for size o.3um)掺杂类型：N型(掺磷、砷、锑) P型（掺硼）晶体取向:100/111厚 度:450-620±25包 装:25片/盒（真空包装）

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