上海SEMI硅片厂

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本征区熔高阻硅片具有效率较高的清洗的特点，能有效减少颗粒二次吸附，提高外延或扩散工序的成品率。在本征区熔高阻硅片的清洗剂中，可以使用一种叫作聚合物聚酯的化学物质。如果本征区熔高阻硅片是溶液中有固定量的二氧化碳等有害气体，则该类溶液就会被吸附在溶解剂中。如果该类溶液不能清洗，那么这些有害气体就可能通过水和其他方式进入溶解剂的包装物。因此，对于本征区熔高阻硅片在其清洗剂中含有的二氧化碳、苯酚等没有毒气体也是合理的。