5英寸N/P型晶向100单晶硅片 5英寸IC级半导体单晶硅抛光片如何保持较长使用寿命

2019-04-11  来自: 东莞市森烁科技有限公司 浏览次数:587

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5英寸IC级半导体硅片(Prime/Test grade)
用途:
同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底、分子束外延生长的基底、X射线分析晶体、半导体光刻
产品尺寸
125mm/5"
表面处理 SSP单面抛光、DSP双面抛光、Lapping双面研磨、SiO2/EPI/SOI等 (具体要求详谈)
生长方式:CZ直拉、FZ区熔 (具体要求详谈)
厚度:180-1000μm (具体要求详谈)
型号/掺杂类型 P /硼 、N/砷、磷、锑 (具体要求详谈)
包装:25片/盒(真空包装)
晶向: 111/100 (具体要求详谈)
电阻率:0.0001-10000(Ω·cm) (具体要求详谈)

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