提供4英寸SI技术单面抛光直拉CZ单晶硅片
- 东莞市森烁科技,提供为客户解决各种硅片方案,提供定制化服务,经营范围:2-12英寸调试级硅片(Dummy Wafer),测试级硅片(Test Wafer),分立器件用硅、集成电路用硅、特种二极管和节能灯电子整流器用研磨硅片、红外滤光片镀膜用硅片。并可提供半导体硅片单面/双面抛光、减薄、切割、MEMS等加工和定制服务。其中为客户提供具良好反馈效果的4英寸单晶硅抛光片半导体dummy wafer晶圆,其高质量品质获客户一致好评,回购率高且销售国内外各地,其参数规格如下:
产品尺寸:4英寸
表面抛光:单面抛光
直径公差:100±0.2mm
厚度:475±20um
生长方式:直拉单晶(CZ)
电阻率:1-100Ω-cm
晶体取向:100/111
平整度TIR:<10um
粗糙度Ra:<0.5nm
弯曲度BOW :<50um
翘曲度TTV :<25um
平整度TIR :<10um
掺杂类型:N型(掺磷、砷、锑)/P型(掺硼)
包装:25片/盒(分盒装)