供应4英寸单抛高纯度镀膜电镜科研衬底晶圆单晶硅片
- 东莞市森烁科技有限公司,致力于半导体领域研发,长期与国内外各厂家合作,为客户提供各种硅片解决方案的同时,根据客户需求提供可定制参数如型号、电阻率、晶向、厚度、颗粒度等,均按客户要求定制,所提供高品质硅片,以此获得广大客户喜爱。森烁科技在重视客户满意度及质量服务至上的同时,不仅持续提升本公司经营绩效,还不断改善创新,深入研究半导体行业领域,研发创新科学技术,取得技术与品质皆优的产品。其中为客户提供具良好反馈效果的4英寸单面抛光硅片高纯度单晶硅镀膜电镜科研衬底晶圆,其高质量品质获客户一致好评,回购率高且销售国内外各地,其参数规格如下:
产品尺寸:4英寸
直径:100±0.2mm
厚度:420±20um
生长方式:直拉单晶(CZ)
电阻率:0-100Ω-cm
晶体取向:100/111
平整度TIR:<10um
粗糙度Ra:<0.5nm
弯曲度BOW :<50um
翘曲度TTV :<25um
平整度TIR :<10um
掺杂类型:N型(掺磷、砷、锑)/P型(掺硼)
颗粒度:按客户需求提供