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森烁定制 二氧化硅SiO2薄膜 双面干/湿氧热氧化单晶硅片
- 二氧化硅片是指在硅片表面热生长一层均匀的介质薄膜,用作绝缘、或者掩模材料。氧化工艺包括高温干氧氧化、高温湿氧氧化。公司采用进口氧化设备、工艺实现氧化层均匀、准确的生成。森烁定制 4寸6寸8寸12寸二氧化硅SiO2薄膜 双面干/湿氧热氧化单晶硅片。
产品特点:
● 氧化层厚度均匀 ● 平整度好 ● 翘曲度小
● 尺寸公差小 ● 表面无光滑无瑕疵