供应4英寸研磨硅片gpp可控硅
- 参数类型:SI技术指标
产品尺寸:4英寸
用途介绍:单晶硅棒切割成的圆形薄片,是半导体行业的原材料,通过对硅片进行光刻,离子注入等手段,可以制成各种半导体器材
生长方式:直拉单晶(CZ)
表面抛光:单面抛光
直径公差:100 ±0.3(mm)
粗燥度Ra:0.5nm
弯曲度BOW:10um
翘曲度TTV:10um
平整度TIR:3um
电 阻 率 50
颗粒度pewaferr:(for size o.3um)
掺杂类型:N型(掺磷、砷、锑) P型(掺硼)
晶体取向:100
厚 度:400-550
包 装:25片/盒(分盒装)